特許
J-GLOBAL ID：200903091012788429
プローブカードチェッカー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095252
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292210
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【目的】プローブカードの検査にあたり、接触抵抗値や針圧を同一の装置でチェックできるようにし、不良解析時間を短縮するとともに、プローブカードの不良原因を明確にすることにある。【構成】プローブ針4を備えたプローブカード3を保持するマザーボード12の下側に対向して上下,左右に移動可能なステージ1を備え、ステージ1上に円盤状の金属材からなるプローブ接触トップ2を固定する。この接触トップ2には、ダイヤフラム部8を備えた圧力センサ9を埋め込み、ダイヤフラム部8の表面と接触トップ表面が同一の高さになるようにする。プローブ針4がダイヤフラム部8に接触したときに針圧を検出するとともに、接触判定部6で接触抵抗値を判定する。
請求項（抜粋）：
複数のプローブ針を備えたプローブカードを保持するマザーボードと、前記マザーボードに対向して位置するとともに上下および左右方向に移動可能なステージと、前記ステージ上に固定された円盤状の金属材からなり且つダイヤフラム部を備えた圧力センサを表面が同一の高さになるように埋め込んでなるプローブ接触トップと、前記圧力センサに接続される圧力測定部と、前記ステージを可動させるための制御を行うステージ制御部と、表示部を備えるとともに前記マザーボードおよび前記プローブ接触トップにケーブルを介して接続される接触判定部とを有することを特徴とするプローブカードチェッカー。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/073 E
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
