特許
J-GLOBAL ID：200903091016837904
イオン源装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-032772
公開番号（公開出願番号）：特開平6-176724
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、安定したイオン発生を行うことができ、メンテナンスを容易に行うことができるイオン源装置を提供する。【構成】 プラズマを発生する部材とイオンを出力する電極を設けたイオン源装置において、一体的に締付け機構を具備してなることを特徴とするイオン源装置と、電子生成室に係合する保持部材と、この保持部材に対して着脱可能に係合する固定部により、固定保持されるように構成されたイオン源装置であって、弾性手段により、上記電子生成室と保持部材を保持することができるように構成したことを特徴とするイオン源装置である。
請求項（抜粋）：
プラズマを発生する部材とイオンを出力する電極を設けたイオン源装置において一体的に締付け機構を具備してなることを特徴とするイオン源装置。
IPC (5件)：
H01J 37/08
, H01J 37/15
, H01J 37/317
, H01L 21/265
, H01J 37/067
