特許
J-GLOBAL ID：200903091031069026
プレートキャリアの搬送車
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-001936
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190644
出願日： 1992年01月09日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 大型プレート用のキャリアを容易に運搬可能とし、ステッパー等のキャリアステーションへの受け渡しを容易にする。【構成】 キャリアを走行可能なワゴン車上に載置するとともに、ワゴン車上でキャリアが水平面内で2次元に一定量だけ移動可能にスライダー部を設ける。
請求項（抜粋）：
大型プレートの複数枚をほぼ水平に収納可能なキャリアを載置して手動、もしくは自動で走行可能な搬送車において、前記キャリアの底部の一部分を保持する載置面を有するとともに、該載置面上に前記キャリアの底部を水平面内で位置決めするための位置決め部が形成されたキャリア載置台と;該キャリア載置台をほぼ水平に保持して床上、もしくは所定の軌道上を走行可能な台車と;該台車上で前記キャリア載置台を水平面内で2次元に移動可能に保持する可動スライド機構と;前記キャリア載置台を前記台車上の所定位置に係止する係止手段とを備えたことを特徴とするプレートキャリアの搬送車。
IPC (7件)：
H01L 21/68
, B60P 1/00
, B60P 1/64
, B61D 47/00
, B62B 5/00
, B65G 35/00
, B65G 47/52 101
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
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