特許

J-GLOBAL ID：200903091031204950

光記録媒体における記録マーク測定方法及び装置

発明者： 白砂 健司
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (3件)： 松山 圭佑 ,  高矢 諭 ,  牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-154334
公開番号（公開出願番号）：特開2006-331549
出願日： 2005年05月26日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：

【課題】光記録媒体でのV溝形状のグルーブと、ここに形成された記録マークとの位置関係及び記録マークの形状を精密に測定する。【解決手段】V溝形状のグルーブを有する光記録媒体に記録マークを形成しておき、これを、記録マーク測定装置50における走査型プローブ顕微鏡52をAFMモードとしてプローブにより走査し、得られた凹凸像の信号から、V溝の底部のみを残すデータ処理を施して、グルーブ底部強調凹凸像を得て、このグルーブ底部強調凹凸像と検出電流により得られたコンダクティブAFM像とを合成して、グルーブ底部と記録マークとの位置関係を測定する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡により、グルーブに相変化記録マークが形成されている光記録媒体の表面を、AFMモードで走査して、走査領域での各ポイントにおけるプローブと光記録媒体の表面との間の電流量によるコンダクティブAFM像と、プローブと光記録媒体の表面との距離から得られる高さのデータによる凹凸像とを得る過程と、 前記凹凸像から、高さデータの閾値を調整して、その閾値以下の高さの前記表面の凹凸像の信号を得る過程と、 前記コンダクティブAFM像の信号と前記凹凸像の信号とを合成して合成像の信号を形成する過程と、を有してなり、 前記高さデータの閾値を、前記表面のグルーブにおける底面位置に相当する高さに設定して、グルーブ底面凹凸像の信号を得ることを特徴とする光記録媒体における記録マーク測定方法。

IPC (4件)：

G11B 7/26 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/16

FI (4件)：

G11B7/26 511 ,  G01B21/30 ,  G01N13/10 G ,  G01N13/16 A

Fターム (15件)：

2F069AA60 ,  2F069BB17 ,  2F069CC07 ,  2F069DD19 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG11 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069NN00 ,  2F069PP04 ,  2F069QQ08 ,  5D121AA01 ,  5D121HH14