特許
J-GLOBAL ID：200903091035687697
荷電ビーム描画装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159063
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007538
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 クーロン効果を低減して大ビーム電流を得る。【構成】 熱電界を放出する電子銃10と、この電子銃10のクロスオーバ11から試料面に向かう荷電ビーム12,13を複数の荷電ビームに分割,偏向および結像するマルチ荷電ビーム光学系と、電子銃10のクロスオーバ11から発生した荷電ビームが試料22面に向かう領域において分割された複数の荷電ビームを再び全体として一つのクロスオーバを形成させることなく試料面22面上に加速,投影させる荷電ビーム光学系とを有して構成されている。
請求項（抜粋）：
熱電界を放出する電子銃と、前記電子銃のクロスオーバから試料面に向かう荷電ビームを複数の荷電ビームに分割,偏向および結像するマルチ荷電ビーム光学系と、前記電子銃のクロスオーバから発生した荷電ビームが試料面に向かう領域において前記分割された複数の荷電ビームを前記試料面上に加速,投影させる荷電ビーム光学系と、を有することを特徴とする荷電ビーム描画装置。
IPC (2件)：
H01J 37/305
, H01L 21/027
H01J 37/305 A
, H01L 21/30 541 B
, H01L 21/30 541 Q
