ウェーハのノッチ部研磨装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：落合稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-294387
公開番号（公開出願番号）：特開平7-124853
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】ウェーハのノッチ部を効果的かつ効率的に研磨可能な研磨装置を提供する。【構成】ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であって、表面に砥粒が担持された可撓性テープと、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、この巻取り用リールを回転させるモータと、前記テープの裏面に流体を吹き付けて当該テープの表面を前記ノッチ部内面に押し付ける流体吹付け手段と、前記テープをその幅方向に振動させる振動付与手段とを備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であって、表面に砥粒が担持された可撓性テープと、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、この巻取り用リールを回転させるモータと、前記テープの裏面に流体を吹き付けて当該テープの表面を前記ノッチ部内面に押し付ける流体吹付け手段と、前記テープをその幅方向に振動させる振動付与手段とを備えることを特徴とする、ウェーハのノッチ部研磨装置。

IPC (5件)：

B24B 9/00 , B24B 1/04 , B24B 21/00 , H01L 21/304 321 , H01L 21/304

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-364729
特開平2-083159
特開昭59-110546

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