特許

J-GLOBAL ID：200903091045575960

窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者： 沼田 吉彦 ,  山本 玲緒
出願人/特許権者： 徳山曹達株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249558
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090436
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】高融点金属を導電層とする窒化アルミニウム焼結体の製造において、該導電層と窒化アルミニウム焼結体との密着が良好で、更に該導電層の表面へのメッキの密着強度も高い上記窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。【構成】窒化アルミニウム、焼結助剤及び有機結合剤よりなる成形体表面に、平均粒径0.8〜5μmの高融点金属粉末100重量部及び窒化アルミニウム2〜10重量部よりなる導電ペーストの層を形成した導電ペースト積層成形体を、例えば、加湿した還元ガス雰囲気下で、700〜1200°C温度での高度な脱脂を行うことにより、残炭率を2000ppm以下とした後、1400〜2100°Cの非酸化性雰囲気下で焼結する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム、焼結助剤及び有機結合剤よりなる成形体表面に、平均粒径0.8〜5μmの高融点金属粉末100重量部及び窒化アルミニウム2〜10重量部よりなる導電ペーストの層を形成した導電ペースト積層成形体を残炭率が2000ppm以下となるように脱脂した後、焼結することを特徴とする導電層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 23/12 ,  H05K 1/09 ,  H05K 3/12 ,  H05K 3/38