特許
J-GLOBAL ID：200903091048267433
基板搬送装置及び基板の搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084941
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283588
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 2枚の半導体ウエハを同時に積載可能で、ジャックナイフ現象を生じることなく不動点位置を越える機構を備えた、小型で高いスループットで半導体ウエハを搬送する搬送装置を安価に提供する。【解決手段】 互いに独立に同期して駆動可能な同軸に配した2つの駆動軸3a、3bに左右対称に一対の第1の腕6a、6bを結合させる。一方の第1の腕6aの駆動軸3aに第1のプーリ9を固定し、各々の第1の腕6a、6bの端部に、回転自在な軸受けを介して左右対称に一対の第2の腕8a、8bを結合する。第1の腕6bに結合する第2の腕8bの回転軸に同軸に第2のプーリ10を設ける。第1のプーリ9と第2のプーリ10との間を、回転動力伝達媒体例えばベルト11などで結合する。
請求項（抜粋）：
同軸に配した2軸の駆動軸を有し、前記駆動軸とその一端が結合し駆動可能な一対の第1の腕と、前記第1の腕のもう一方の他端に、第1の腕に対して回転自在な構成からなる一対の第2の腕が結合し、前記各々の第2の腕の開き角を同一にする関節と前記各々の関節の回転中心軸支持された被搬送物を載置するキャリアを有する搬送装置において、前記キャリアが前記駆動軸の回転中心軸上を通過可能な搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
