特許
J-GLOBAL ID：200903091053351108
電子顕微鏡用試料傾斜装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279275
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134963
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】本発明は、電子顕微鏡の試料傾斜装置に関し、その目的は集束イオンビームで加工した試料を効率的に電子顕微鏡で観察できる試料傾斜装置を提供することにある。【構成】電子顕微鏡に装着された試料傾斜装置3と、試料ホールダ7から構成され、試料ホールダ7は外軸8と試料17が載置されている中軸9で構成されている。外軸8の外端には、中軸9を回転させるつまみ13が設けられており、集束イオンビーム装置で試料17の加工を行う時は、つまみ13で加工位置を正確に位置決めできる。【効果】試料ホールダを集束イオンビーム装置と電子顕微鏡に共用できるので、試料の加工と観察が迅速に行えるうえ、試料の大角度傾斜も実現できる。
請求項（抜粋）：
試料を載置した試料ホールダを電子線光軸と直交する方向から回転可能に挿入し、真空シールで気密を保ちながら試料ホールダを軸心方向に移動させて試料の移動を行うようにした装置において、前記、試料ホールダは、試料を載置した中軸と、該中軸と中心を共用した外軸で構成され、外軸の後端に中軸を回転させる手段を設け、試料の傾斜を行えるようにしたことを特徴とする電子顕微鏡用試料傾斜装置。
引用特許：
前のページに戻る
