特許
J-GLOBAL ID：200903091058328147
拡散炉用低熱容量型フォーク
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-071745
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283457
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 横型拡散炉における酸化成長膜厚や不純物の拡散による層抵抗値のウェーハ面内バラツキ低減のため。【構成】 横型拡散炉において、半導体ウェーハを入出炉させるフォークの形状を従来の平板状からフォークの周辺部および中央部に複数個の切り欠き1を入れた低熱容量型フォークに変更することにより、フォーク自身の熱容量が小さくなる。【効果】 室温状態の空フォークが一定のスピードで半導体ウェーハを迎えに高温の炉芯管内に入炉する時、フォーク自身の温度が急激に昇温することが容易となるため、ウェーハのフォーク近接部の冷却が緩和できる。したがって、酸化成長膜厚や不純物の拡散による層抵抗値のウェーハ面内バラツキを低減できる効果がある。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハを入出炉させるためのフォークのボート保持部を上部より見て部分的に切り欠いたことを特徴とする拡散炉用低熱容量型フォーク。
IPC (3件)：
H01L 21/22
, B65G 49/07
, H01L 21/68
