特許
J-GLOBAL ID：200903091063759385
マイクロメカニカル回転速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-536201
公開番号（公開出願番号）：特表平10-511775
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】コリオリの原理に基づくマイクロメカニカル回転速度センサは、静電励起により互いに逆相で振動する2つの平板状振動子(1、2)を含み、各振動子は、一方が他方の下に並ぶように配置され、非常に小さい駆動コンデンサギャップ(30)によって互いに分離された複数の平板状支持機構(4a、4b、33c、33d)を介して振動が励起されるようになっている。振動子(1および2)間の距離が顕著に長いことから、支持構造部の固有周波数を適当に選択することにより、振動の振幅をより大きくし、それゆえ振動特性を向上させることができ、また、低い励起電圧において良好な励起を行うために狭く設定された駆動コンデンサギャップ(30)によって振幅および振動特性が制限されない。複振動子構造は、好ましくは、各振動子について互いに電気的に絶縁された2つの結合部を含む。上記各結合部は、フレーム内でばね(80ないし83、80’ないし83’)によって懸吊され、本質的に振動子の回転運動のみが可能となり、±z方向への振動子の直線運動が大きく抑制されるように配置されている。
請求項（抜粋）：
静電励起されることによって互いに逆相で振動する2つの平板状振動子(1、2)を有するコリオリの原理に基づくマイクロメカニカル回転速度センサにおいて、 2つの振動子(1、2)が、2つの面で一方が他方の下になるように層状に配され、かつ、各平板の面に垂直に振動するように励起され得るようになっていることを特徴とするマイクロメカニカル回転速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭61-102518
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特開昭63-154915
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