透明な板上に存在する拡散して反射する被膜を検知しかつ突き止めるための方法ならびに装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江崎光史 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-588006
公開番号（公開出願番号）：特表2002-532697
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：

【要約】透明な板上に存在する、拡散して反射する被膜を検知して突き止めるための方法ならびに相応する装置を提案する。その場合に、技術的問題を、任意の、拡散して反射する被膜を無接触で検知しかつそのときセンサに向けられたそのような表面とセンサと反対側のそのような表面との間を区別することで解決しなければならない。このことは、前記方法が、装置により包含された受けユニットで、対象物から受けユニットまでの放射路の中へ板を含めた状態で対象物を実質的に具象的に捉えること、そして像の形成を相応して評価することを含むことによりうまくゆく。

請求項（抜粋）：

光学的なセンサ列(7) を含む受けユニット(4) を用いて透明な板(3) 上に存在する拡散して反射する被膜(10,11) を検知しかつ突き止めるための方法であって、- 対象物(1) を受けユニット(4) で具象的に捉え、その際前記対象物(1) が同じ板側(3′) に存在し、その後方に受けユニット(4) が配置され、そして対象物(1) から出発する光線(2) がこの対象物と受けユニット(4) の間で透明な板(3) の表面(3′,3′′) で1つおよびまたは複数の方向転換を受け、- 幾何学的な光学系により清潔な板(3) の場合に対象物の像(8,9) が存在しなければならないセンサ列(7) の同じ箇所(8′,9′) に強度態様を連続して検出し、- データ記憶装置に置かれた、あらかじめ清潔な板(3) で検出された強度態様の基準値との比較を含む、データ処理ユニットで連続して検出された強度態様を評価する段階を含む方法。

IPC (3件)：

G01N 21/17 , B60S 1/08 , G01N 21/47

FI (3件)：

G01N 21/17 E , B60S 1/08 H , G01N 21/47 B

Fターム (14件)：

2G059AA05 , 2G059BB01 , 2G059CC09 , 2G059CC10 , 2G059CC11 , 2G059EE02 , 2G059GG02 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059KK03 , 2G059MM05 , 2G059MM10 , 3D025AG36 , 3D025AG68

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-094135
特開昭64-025036
特開昭63-094135

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