特許
J-GLOBAL ID:200903091073279829
レーザ光を利用したスペックルパターンによる上下および横移動量の測定方法ならびにその装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
板橋 清吉 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-277437
公開番号(公開出願番号):特開平7-110216
出願日: 1993年10月08日
公開日(公表日): 1995年04月25日
要約:
【要約】[目的] 被測定物にレーザ光を照射し、被照射域の映像範囲に描かれたスペックルパターンを標識として捕らえ、これを光学的に検知し、かつ、演算処理し、更にこれを測定値として出力表示することを目的とするものである。[構成] 被計測物1にスペックルパターン3を描かせるレーザ発振器4と、前記スペックルパターンを標識として捕らえるCCDカメラ5と、CCDカメラ5からのアナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変換器6と、A/D変換器6からのディジタル信号の測定値を算出する演算装置7と、演算装置7による測定数値を出力表示するCRT8とからなる。
請求項(抜粋):
非接触で移動量を測定する方法にあって、被計測物にレーザ光を照射することにより被照射域の映像範囲に描かれたスペックルパターンを標識として光学的に認識し、かつ、該認識画素を演算処理し、測定数値を表示出力させてなることを特徴とするレーザ光を利用したスペックルパターンによる上下および横移動量の測定方法。
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平2-297006
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スペツクル画像変位測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-170196
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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