特許

J-GLOBAL ID：200903091080091843

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 本山 清人 ,  垣脇 成光 ,  出口 治彦 ,  竹沢 洋一
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-292661
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122684
出願日： 2002年10月04日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】インクジェットヘッドの耐久性・信頼性を高める。【解決手段】インク流路7を形成する溝2が設けられており、その溝2内面に形成された電極膜3及び電極膜3への電圧印加にて駆動されるヘッド駆動部(隔壁4)を有するPZT基板1と、インク流路7に対応する位置にノズル孔が設けられたノズルプレートを備えた圧電駆動式インクジェットヘッドにおいて、PZT基板1の溝2(インク流路7)内に形成された電極膜3を、金属電極との密着性や絶縁特性に優れる電着絶縁膜5と、均一被覆性に優れるポリパラキシリレン膜6の2層の膜で被覆することで、水性インク中の腐食性成分から電極膜3を確実に保護する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

インク流路を形成する溝が形成されているとともに、前記溝内面に形成された電極膜及びその電極膜への電圧印加にて駆動されるヘッド駆動部を有する圧電性セラミックス基板と、インク流路に対応する位置にノズル孔が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、 前記電極膜が、電着法にて形成された電着絶縁膜と、ポリパラキシリレン類からなる絶縁膜の2層の膜で被覆されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16

FI (2件)：

B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (13件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG45 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP22 ,  2C057AP52 ,  2C057AP55 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ10 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14