特許

J-GLOBAL ID：200903091084884945

マイクロレンズ基板の製造方法及び電気光学装置の製造方法

発明者： 斉藤 広美 ,  四谷 真一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-055868
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242306
出願日： 2000年03月01日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 2枚の透明基板を透明材料を介して接合し、少なくとも一方の透明基板を薄肉化する工程を有するマイクロレンズ基板の製造方法において、薄肉化する一方の透明基板に機械的損傷や撓み、歪み、割れ、欠けなどを発生させることなく、効率的に製造することのできる製造方法を提供する。【解決手段】 (a)に示す状態でエッチング液に浸漬し、マスク層11や被覆層12によって覆われていないガラス基板14の外表面(図示上面)をエッチングし、(b)に示すように、ガラス基板14をエッチングによって薄肉化する。エッチング処理には、弗化水素と、弗化アンモニウムとの混合水溶液をエッチング液として用いる。

請求項（抜粋）：

第1透明基板と第2透明基板の少なくとも一方の基板の表面上に光学面を形成し、該光学面を構成する素材とは異なる屈折率を有する透明材料を前記光学面上に介して前記第1透明基板と前記第2透明基板とを接合してなるマイクロレンズ基板の製造方法であって、前記第1透明基板と前記第2透明基板とを前記透明材料を介して接合した後に、エッチング処理により前記第2透明基板を薄肉化することを特徴とするマイクロレンズ基板の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 3/00 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1335

FI (4件)：

G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1335

Fターム (19件)：

2H090JA04 ,  2H090JB02 ,  2H090JC03 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H090LA05 ,  2H091FA27X ,  2H091FA34Z ,  2H091FC01 ,  2H091FC26 ,  2H091FD14 ,  2H091GA01 ,  2H091GA02 ,  2H091GA13 ,  2H091GA17 ,  2H091LA02 ,  2H091LA12 ,  2H091LA17 ,  2H091LA19