特許
J-GLOBAL ID：200903091091985811
表面被覆窒化珪素質部材
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-173794
公開番号（公開出願番号）：特開平8-034685
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【構成】窒化珪素焼結体組成が窒化珪素とSi2 N2 OとRE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)で囲まれた領域にあり、粒界相が少なくともRE2Si2 O7 に結晶化した窒化珪素焼結体の表面にRE4 Al2 O9 、REAlO3 およびRE3 Al5 O12のうちの少なくとも1種からなる気孔率が10%以下の被覆層を形成する。【効果】高温の酸化性雰囲気に長時間暴露されても被覆層の剥離が生じない耐食性と耐熱性に優れた表面被覆層を有する窒化珪素質耐熱部材を提供できる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素焼結体からなる基体の表面に、RE4 Al2 O9 、REAlO3 およびRE3 Al5 O12(REはいずれも周期律表第3a族元素)のうちの少なくとも1種を被覆したことを特徴とする表面被覆窒化珪素質部材。
IPC (2件)：
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