特許

J-GLOBAL ID：200903091095564748

静電容量型センサのセンサ特性測定方法とセンサ特性測定装置

発明者： 太田 則一 ,  島岡 敬一 ,  船橋 博文 ,  石王 誠一郎 ,  鈴木 康利 ,  伊藤 一 ,  牧野 泰明
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (1件)： 小玉 秀男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-211098
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028825
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】 余分な電極対を必要とせず、しかも、静電容量型センサの寿命を低下させることなくセンサ特性を測定できる技術を実現する。【解決手段】 静電容量型センサのセンサ特性測定装置は、対向する可動電極108bと固定電極108aを備える静電容量型センサ107のセンサ特性を測定する装置であって、可動電極108bと固定電極108aの間に第1の所定電圧V1を印加して両電極108b、108a間の静電容量を測定する手段111と、両電極108b、108a間に第2の所定電圧V2を印加して両電極108b、108a間の静電容量を測定する手段111と、各静電容量測定手段111で測定される2種類の静電容量の差をとる手段122とを備える

請求項（抜粋）：

対向する可動電極と固定電極を備える静電容量型センサのセンサ特性を測定する方法であって、可動電極と固定電極の間に第1の所定電圧を印加して両電極間の静電容量を測定し、ついで、両電極間に第2の所定電圧を印加して両電極間の静電容量を測定し、第1の所定電圧を印加して測定した第1の静電容量と第2の所定電圧を印加して測定した第2の静電容量を比較することによって、静電容量型センサのセンサ特性を測定する方法。

IPC (2件)：

G01N 27/22 ,  G01R 27/26

FI (2件)：

G01N 27/22 Z ,  G01R 27/26 C

Fターム (8件)：

2G028AA02 ,  2G028BE10 ,  2G028EJ06 ,  2G028FK01 ,  2G060AE40 ,  2G060AF10 ,  2G060HC06 ,  2G060HC08