特許
J-GLOBAL ID：200903091106971863
ウエハ検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257149
公開番号（公開出願番号）：特開平6-085042
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 発光部から照射される照射光がウエハにより乱反射されても受光部において前記反射光に起因する誤検出を防止するウエハ検出装置を提供するものである。【構成】 キャリア3内に収納された複数枚のウエハ2に対して光照射する発光素子19及びこの発光素子19に対向する位置に設けられウエハ2の有無を検出する受光素子20をそれぞれ2組備えたウエハ検出装置50において、前記それぞれの発光素子19の発振波長を異波長にするとともに、前記受光素子20の入射光路にそれぞれ透過波長の異なる光学フィルタ100を設けたことを特徴とするウエハ検出装置50。
請求項（抜粋）：
キャリア内に収納された複数枚のウエハに対して光照射する発光素子及びこの発光素子に対向する位置に設けられウエハの有無を検出する受光素子をそれぞれ2組備えたウエハ検出装置において、前記それぞれの発光素子の発振波長を異波長にするとともに、前記受光素子の入射光路にそれぞれ透過波長の異なる光学フィルタを設けたことを特徴とするウエハ検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01B 11/00
, G01V 9/04
, G06M 7/06
