特許
J-GLOBAL ID：200903091107440080
熱型赤外線撮像素子及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-188441
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024342
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】赤外線の検出感度を向上させる。【解決手段】本発明に係る熱型赤外線撮像素子は、画素を選択するためのアドレス線1が形成された第1の基板2と、この第1の基板2上に離間して形成されて入射赤外線を熱に変換する感熱部3と、感熱部3を第1の基板2から離間して支持する少なくとも1本の支持脚4と、第1の基板2に対向配置されて赤外線を感熱部3に導くV字溝5が画素ピッチで複数形成されたマイクロプリズムアレイ(第2の基板)6とを備えている。第2の基板6にV字溝からなるマイクロプリズムを形成し、このV字溝に第1の基板2の凸部が自己整合的に噛み合うようにしたため、感熱部3とマイクロプリズムとの位置合わせを精度よく行うことができ、マイクロプリズムに入射した赤外線を漏れなく感熱部3に導くことができ、赤外線検出の感度が向上する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
画素ピッチで複数形成された凸部を有する第1の基板と、
前記第1の基板の前記凸部間に前記第1の基板から離間して配置され、入射赤外線を熱に変換する感熱部と、
前記感熱部を前記第1の基板から離間して支持する少なくとも1本の支持脚と、
前記第1の基板に対向配置され、入射赤外線を屈折させて前記感熱部に集光させる傾斜面を有する溝からなるマイクロプリズムが画素ピッチで複数形成されたマイクロプリズムアレイを有する第2の基板と、を備え、
前記凸部のそれぞれが前記溝のそれぞれに噛み合わされてなることを特徴とする熱型赤外線撮像素子。
IPC (6件)：
G01J1/02
, G01J5/02
, H01L27/14
, H01L37/00
, H01L37/02
, H04N5/33
G01J1/02 R
, G01J1/02 C
, G01J5/02 B
, H01L37/00
, H01L37/02
, H04N5/33
, H01L27/14 K
2G065AB02
, 2G065BA06
, 2G065BA34
, 2G065BE07
, 2G065CA13
, 2G065DA18
, 2G066BA24
, 2G066BA55
, 2G066BB09
, 4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA14
, 4M118CA40
, 4M118CB12
, 4M118CB14
, 4M118DD02
, 4M118EA20
, 4M118FA06
, 4M118GD13
, 5C024AX06
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024EX47
出願人引用 (3件)
-
赤外線センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-354375
出願人：株式会社東芝
-
特開昭63-305553
-
画像装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-315055
出願人：京セラ株式会社
審査官引用 (3件)
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赤外線センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-354375
出願人：株式会社東芝
-
特開昭63-305553
-
画像装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-315055
出願人：京セラ株式会社
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