特許

J-GLOBAL ID：200903091107976206

金属酸化物蒸着フィルムの製造方法

発明者： 永井 逸夫 ,  田中 善雄 ,  上田 智昭
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026948
公開番号（公開出願番号）：特開平7-233463
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【構成】プラスチックフイルムからなる基体の表面を10W・分/m2 以上の処理強度で低温プラズマ処理し、連続して該処理面に反応性蒸着により金属酸化物蒸着膜を設けることを特徴とする金属酸化物蒸着フィルムの製造方法。【効果】酸素バリア性、および水蒸気バリア性の優れた金属酸化物蒸着フィルムを安定して、かつ廉価に製造できる。

請求項（抜粋）：

プラスチックフイルムからなる基体の表面を10W・分/m2以上の処理強度で低温プラズマ処理し、連続して該処理面に反応性蒸着により金属酸化物蒸着膜を設けることを特徴とする金属酸化物蒸着フィルムの製造方法。

IPC (2件)：

C23C 14/02 ,  C23C 14/56

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-212842
  
• 透明ガスバリア性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-145949   出願人：東レ株式会社
• 特開平4-212842