圧力センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-385685
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181648
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】静電容量式に比べて信号処理を単純化した、より安価な圧力センサの提供。【解決手段】本発明は、基体11上に設けられた回路12と、該回路と対向しかつそれと間隔をおいて該基体に固定された少なくとも表面が導電性を有するダイヤフラム13とを有し、前記ダイヤフラムが圧力を受けて前記基体上の回路と接触することで生じる該回路の電気抵抗の変化を検出しその圧力を測定するように構成されたことを特徴とする圧力センサ10に関する。

請求項（抜粋）：

基体(11)上に設けられた回路(12)と、該回路上に対向しかつ隙間(17)をあけて設けられた少なくとも表面が導電性を有するダイヤフラム(13)とを有し、前記ダイヤフラムが圧力を受けて前記基体上の回路と接触することで生じる該回路の電気抵抗の変化を検出しその圧力を測定するように構成されたことを特徴とする圧力センサ(10)。

Fターム (8件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055DD07 , 2F055EE18 , 2F055FF43 , 2F055GG11

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