特許

J-GLOBAL ID：200903091120167309

ウェハ両面洗浄・乾燥装置

発明者： 関 田 三 郎
出願人/特許権者： 芝山機械株式会社
代理人 (1件)： 蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-255762
公開番号（公開出願番号）：特開平10-100068
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 ウェハの両面を同時に洗浄および乾燥できること。【解決手段】 ウェハWの外周端面を保持して回転するローラ30、31、32、33を備えたチャック装置21と、ウェハを各ローラに着脱するためにチャック装置21を開閉するチャック開閉装置22と、チャック装置21に保持されたウェハの両面を挟むように進退可能に設けられた回転ブラシ装置23と、チャック装置21に保持されたウェハの両面を挟むように進退可能に設けられて、洗浄時にウェハ両面に洗浄水を供給するとともに、洗浄後にウェハ両面に空気を供給する洗浄水・空気噴射装置24とを備える。ウェハの両面にはブラシ46、47以外接触するものがないので、洗浄面に汚れが付着することがなく、ウェハの歩留まり率が高くなる。

請求項（抜粋）：

ウェハの外周端面を保持して回転するローラを備えたチャック手段と、ウェハを前記ローラに着脱するために前記チャック手段を開閉する手段と、前記チャック手段に保持されたウェハの両面を挟むように進退可能に設けられた回転ブラシ手段と、前記チャック手段に保持されたウェハの両面を挟むように進退可能に設けられて、洗浄時にウェハ両面に洗浄水を供給するとともに、洗浄後にウェハ両面に空気を供給する洗浄水・空気噴射手段とを備えたウェハ両面洗浄・乾燥装置。

IPC (2件)：

B24B 55/12 ,  H01L 21/304 351

FI (2件)：

B24B 55/12 ,  H01L 21/304 351 S