特許

J-GLOBAL ID：200903091120486560

複合多層膜およびその製造方法および電子部品

発明者： 小野 隆 ,  藤井 俊介
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-175388
公開番号（公開出願番号）：特開2005-007321
出願日： 2003年06月19日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】優れた低透湿性、透明性、耐屈曲性、耐熱性を兼ね備え、非常に簡易的な手法で製造することができる複合多層膜、およびその製造方法を提供する。【解決手段】フッ素化された炭化水素鎖を含んで構成される層と無機酸化物を含んで構成される層が交互に周期的に積層し、フッ素化された炭化水素鎖が無機酸化物を構成する原子と共有結合していることを特徴とする複合多層膜、またフッ素化された炭化水素鎖を有するケイ素系化合物を含有する溶液を基板上に塗布し、次いで溶媒を揮発除去させることを特徴とする前記複合多層膜の製造方法である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

フッ素化された炭化水素鎖を含んで構成される層と無機酸化物を含んで構成される層が交互に周期的に積層し、フッ素化された炭化水素鎖が無機酸化物を構成する原子と共有結合していることを特徴とする複合多層膜。

IPC (7件)：

B05D7/24 ,  B32B9/00 ,  B32B31/00 ,  G09F9/00 ,  H05B33/02 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14

FI (7件)：

B05D7/24 302Y ,  B32B9/00 A ,  B32B31/00 ,  G09F9/00 302 ,  H05B33/02 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A

Fターム (56件)：

3K007AB11 ,  3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007BA07 ,  3K007BB01 ,  3K007CA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA02 ,  4D075AE03 ,  4D075BB24Z ,  4D075CA03 ,  4D075CA40 ,  4D075CB06 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DB48 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EB01 ,  4D075EB16 ,  4D075EB43 ,  4D075EB47 ,  4F100AA17B ,  4F100AA20 ,  4F100AA20B ,  4F100AH05A ,  4F100AH06 ,  4F100AH06A ,  4F100AH06B ,  4F100AK42 ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA08 ,  4F100EH46 ,  4F100EH46A ,  4F100EH46B ,  4F100EJ86 ,  4F100GB23 ,  4F100GB41 ,  4F100JD04 ,  4F100JJ03 ,  4F100JK17 ,  4F100JN01 ,  5G435AA07 ,  5G435AA12 ,  5G435AA13 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435HH02 ,  5G435KK05 ,  5G435KK07 ,  5G435KK10