特許
J-GLOBAL ID：200903091122977200
中間室を設けた純水電解槽
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215471
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339769
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 純水あるいは超純水を電気分解して、半導体製造分野等において求められている還元性の強い液を製造するのに適した電解槽を提供する。【構成】 カソード電極を配置したカソード室と、アノード電極を配置したカソード室とを、並設した一対のイオン交換膜を間にして区分し、この一対のイオン交換膜の間にイオン交換樹脂を充填した中間室を設けて、DOの低い液を通水させながら純水の電気分解を行なう。これによってカソード室からDO濃度が極めて低く、還元性の強いカソード液を回収できる。
請求項（抜粋）：
アノード電極の設けられたアノード室と、カソード電極の設けられたカソード室とを、並設された一対の隔膜を間にして区分した構造を有する水または純水の電気分解槽であって、上記一対の隔膜の間に、粒状または多孔質状の固体電解質を充填した中間室を設け、この中間室に脱気水を通水する手段を接続し、カソード室から液を回収する手段を設けたことを特徴とする純水電解槽。
IPC (2件)：
C25B 9/00 302
, C25B 13/08 305
