特許

J-GLOBAL ID：200903091125457640

製造装置

発明者： 白井 秀信
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-041900
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242234
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】スループットを低下させることなく大気搬送部の占有面積を小さくすることができる真空予備室を備えた製造装置を提供する。【解決手段】真空予備室4は、共通搬送室21と、その上下に設けられたロードロック室32,43とから構成される。キャリア13,14に収容されたウェハWは、共通搬送室21の上下に設けられたアップロードロック室32,ダウンロードロック室43を介して該共通搬送室21内に搬送される。そして、共通搬送室21内のウェハWは、真空中にて真空搬送ロボット5により処理室2へ搬送される。

請求項（抜粋）：

搬送されたワークに対して真空にて所定処理を施す処理室と、前記処理室を大気中に開放しないでワークの搬送を行うために設けられ、それぞれ独立して真空排気と大気化とが行われる複数の真空予備室とを備え、前記複数の真空予備室を垂直方向に配置した製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 試料の搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-318331   出願人：神鋼電機株式会社, 株式会社神戸製鋼所
• 枚葉式真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-247633   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平2-196441