特許
J-GLOBAL ID：200903091138960146
位相差測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武石 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250707
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087678
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 位相差の小さな位相板の位相差の測定を容易に行えるようにする。【構成】 偏光子P、位相子S、ミラーMの順に配置した測定光学系を用い、偏光子側から入射させた光の反射光の強度を、波長を走査して測定する。
請求項（抜粋）：
偏光子を介して位相子の分光出射光強度を測定し、極大強度または極小強度を示す波長から位相子の位相差を測定する方法であって、光学系を偏光子、位相子、ミラーの順に配置し、偏光子側から光を入射させ、その反射光を出射光とすることを特徴とする位相差測定方法。
IPC (2件)：
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