特許

J-GLOBAL ID：200903091145203636

測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置

発明者： 佐藤 弘和
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 鹿嶋 英實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-188290
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004819
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 処理時間を短縮し得る測定ポイント選択方法およびその方法を用いた試験装置を実現する。【解決手段】 各ブロック毎のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックのテストパターンを選択する。このテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出する一方、当該テストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する。抽出した測定ポイントの内から仮選択されるN個の測定ポイントと選択された信号状態とに応じて、各測定ポイント毎の故障検出率を算出した後、これらN個の測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出し、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する。

請求項（抜粋）：

半導体集積回路を構成する各ブロック毎の試験動作形態を表す複数のテストパターンの内からスクリーニング力を向上したいブロックに対応したテストパターンを選択するパターン選択過程と、このパターン選択過程にて選択されたテストパターンからIDDQテストに適する測定ポイントを抽出するポイント抽出過程と、前記パターン選択過程にて選択されたテストパターンに対応したブロック内の信号状態を選択する信号選択過程と、前記ポイント抽出過程で抽出された測定ポイントの内から仮選択される最初のN個の測定ポイントと前記信号選択過程で選択された信号状態とに応じて、最初に仮選択されたN個の測定ポイントの故障検出率を算出した後、これらN個の仮選択された測定ポイントの内の1つを、N+1個目以降の測定ポイントに順次置き換えて故障検出率を算出していき、その中で最も故障検出率が高い組合せとなるN個の測定ポイントを選定する測定ポイント選定過程とを具備することを特徴とする測定ポイント選択方法

IPC (8件)：

G01R 31/317 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/3183 ,  G01R 31/319 ,  G06F 11/22 310 ,  G06F 11/22 330 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04

FI (8件)：

G01R 31/26 B ,  G01R 31/26 G ,  G06F 11/22 310 G ,  G06F 11/22 330 B ,  G01R 31/28 A ,  H01L 27/04 T ,  G01R 31/28 R ,  G01R 31/28 Q

Fターム (19件)：

2G003AA02 ,  2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AF02 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  2G132AA01 ,  2G132AB01 ,  2G132AD01 ,  2G132AL09 ,  2G132AL12 ,  5B048AA20 ,  5B048DD05 ,  5B048EE01 ,  5B048FF00 ,  5F038DT10 ,  5F038DT15 ,  5F038EZ09 ,  5F038EZ20