特許
J-GLOBAL ID：200903091152377798
ロータリパドル処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-222281
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053133
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 ロータリパドル処理装置において、処理液量を少なくすると共に液交換を不要とし且つ処理スペースを低減する。【構成】 パドル処理槽1と、このパドル処理槽内に回転可能に設けられ外周部側に伸びた複数のアームをそれぞれワーク2の処理ステーションとするロータリテーブル3と、上記パドル処理槽の一側端部に設けられ外部の搬送ライン4上を搬送されてきたワークを上記ロータリテーブルの入口側の処理ステーションに受け渡す入口側搬送ローラ系5と、他側端部に設けられ上記ロータリテーブルの出口側の処理ステーション上での処理が終了したワークを外部の搬送ライン4に受け渡す出口側搬送ローラ系6と、上記ロータリテーブルの入口側位置の上方にて当該部位の処理ステーションに載せられたワーク2の上面に処理液10を滴下する処理液ノズル7と、上記ロータリテーブルのシャフト8に設けられ該ロータリテーブルを上記各搬送ローラ系の下方から上方まで上昇、下降させると共に低速回転させる回転駆動機構9とを備えて成る。
請求項（抜粋）：
ワークに対し滴下した処理液を受けるパドル処理槽と、このパドル処理槽内の中心部に回転可能に設けられ外周部側に伸びた複数のアームをそれぞれワークの処理ステーションとするロータリテーブルと、上記パドル処理槽の一側端部に設けられ外部の搬送ライン上を搬送されてきたワークを上記ロータリテーブルの入口側の処理ステーションに受け渡す入口側搬送ローラ系と、上記パドル処理槽の他側端部に設けられ上記ロータリテーブルの出口側の処理ステーション上での処理が終了したワークを外部の搬送ラインに受け渡す出口側搬送ローラ系と、上記ロータリテーブルの入口側位置の上方にて当該部位の処理ステーションに載せられたワークの上面に処理液を滴下する処理液ノズルと、上記ロータリテーブルのシャフトに設けられ該ロータリテーブルを上記各搬送ローラ系の下方から上方まで上昇、下降させると共に低速回転させる回転駆動機構とを備えて成ることを特徴とするロータリパドル処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1343
, G03F 7/42
