特許
J-GLOBAL ID：200903091152812303
全方向同時蒸着重合装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323809
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132764
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】[構成] 真空処理室1a内のバレル10と外周壁部18との間には導入管15a、15bが設けられ、導入管15a、15bのそれぞれが導入口6a、6bと接続されている。導入管15a、15bに開けられているモノマの噴出口である16の開口面積は、被蒸着材20への蒸着分布確率が均一となるように導入口6a、6b側は小さく、先端に向かうに従って大きくなるように形成されており、開口16の向きはバレル10の方向に開けられているが、モノマの蒸気がバレル10に直接吹きつけられない程度の距離が維持されている。これにより、モノマの蒸気が均一となり、バレル10に収納されている被蒸着材の位置にかかわらず、蒸着被膜が一定となる。[効果] 被蒸着材のバレル内の収容位置にかかわらず、被蒸着被膜を一定にする。
請求項（抜粋）：
真空処理室内に、外部蒸発源からの高分子膜の原料モノマ蒸気を導入する導入管と、高分子膜を表面に形成させる被蒸着材を収容するバレルを配置した全方向同時蒸着重合装置において、前記導入管が前記バレルに沿って延在して設けられると共に、前記導入管に先端を封止して、その先端に向かうに従って開口面積の大きくなる開口を等間隔で設けたことを特徴とする全方向同時蒸着重合装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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