特許

J-GLOBAL ID：200903091164044522

画像処理装置および方法

発明者： 和田 慎一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-027892
公開番号（公開出願番号）：特開平10-222672
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 LSI等の観測対象を電子顕微鏡等の観測装置で観測して画像データを取得し、これを事前に用意されたレイアウトデータにパターンマッチングさせて位置合わせを行う場合に、観測装置の誤差である最大観測誤差以下の周期性が指定箇所に存在しても、レイアウトデータと画像データとを正確に位置合わせできるようにする。【解決手段】 指定箇所に最大観測誤差以下の周期性が存在する場合、その周囲の最大観測誤差以下の周期性が無い箇所で正確なパターンマッチングを実行し、この位置を基点として指定箇所に観測位置を移動させることで、レイアウトデータと画像データとを正確に位置合わせする。

請求項（抜粋）：

観測対象のレイアウトデータを事前に記憶したデータ記憶手段と、観測対象を観測して画像データを取得する対象観測装置と、観測対象の観測する箇所の指定を受け付ける位置指定手段と、指定箇所を所定範囲だけ拡大した拡大箇所をレイアウトデータから抽出する範囲拡大手段と、抽出された拡大箇所のレイアウトデータでの最大観測誤差以下の周期性の有無を判定する周期検出手段と、該周期性の存在が判定された場合にレイアウトデータの指定箇所の近傍から最大観測誤差以下の周期性が無い拡大箇所を検出する箇所検出手段と、検出された拡大箇所に対応した位置を前記対象観測装置に観測させて画像データを取得させる位置変更手段と、取得された画像データをレイアウトデータにパターンマッチングさせて指定箇所との位置ズレ量を検出するズレ検出手段と、検出された位置ズレ量に対応して前記対象観測装置の観測位置を移動させて画像データを取得させる画像取得手段と、を具備していることを特徴とする画像処理装置。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G01R 31/302 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G06F 15/62 405 C ,  H01L 21/66 C ,  H01L 21/66 J ,  G01R 31/28 L ,  G06F 15/70 330 P