汚染された固体表面の洗浄方法とそれに用いる洗浄液

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉嶺桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-260163
公開番号（公開出願番号）：特開平10-088190
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】固体表面を損傷することなく、簡単な処理で固体表面を洗浄できる方法とそれに用いる洗浄液を提供する。【解決手段】汚染された固体表面を洗浄する方法において、ガスを発生する化合物を含有する洗浄液を、前記固体表面と付着した汚れとの間に侵入させて、その場でガスを発生させ、汚れを剥離除去することとしたものであり、前記洗浄液としては、ガスを発生する化合物、又は該化合物と界面活性剤、ガス発生反応をコントロールするための触媒又は増粘剤のうちの一種以上を含有する水溶液を用いることができ、前記ガスを発生する化合物としては、ペルオキシ炭酸塩又はペルオキシほう酸塩、あるいは、炭酸ガスを発生する炭酸塩又は重炭酸塩を用いることができ、ガス発生反応をコントロールするための触媒としては、鉄,銅,マンガン,鉛から選ばれた元素を含む少なくとも一種の塩類を用いることができる。

請求項（抜粋）：

汚染された固体表面を洗浄する方法において、ガスを発生する化合物を含有する洗浄液を、前記固体表面と付着した汚れとの間に侵入させて、その場でガスを発生させ、汚れを剥離除去することを特徴とする固体表面の洗浄方法。

IPC (3件)：

C11D 7/12 , C11D 7/18 , C11D 17/08

FI (3件)：

C11D 7/12 , C11D 7/18 , C11D 17/08

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭64-027678
特開昭61-207500
特開昭56-163199

全件表示

前のページに戻る