X線顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159143
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005500
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】試料をターゲットに接近して配置して充分な強度のX線を照射することができ、ターゲットと試料との距離調整を容易に行うことができるX線顕微鏡を提供する。また、ターゲットや試料セル等に付随する構成機構全体を真空状態に保持するための大型の真空容器を必要としない小型のX線顕微鏡を提供する。【構成】レーザビーム9をターゲット11に集光照射して、発生したX線4をレーザビームの照射側と反対側のターゲット裏面の近傍に配置した試料セル20内の試料Sに照射して透過させ、該透過X線像を検出器21によって観察するX線顕微鏡において、ターゲット11、試料セル20、および検出器21をX線顕微鏡内において一体の構成単位Aを形成する。これによって、試料Sをターゲット11に接近して配置して充分な強度のX線を照射することができ、ターゲット11と試料Sとの距離調整を容易に行う。

請求項（抜粋）：

レーザビームをターゲットに集光照射して、発生したX線をレーザビームの照射側と反対側のターゲット裏面の近傍に配置した試料セル内の試料に照射して透過させ、該透過X線像を検出器によって観察するX線顕微鏡において、前記ターゲット、試料セル、および検出器は、X線顕微鏡内において一体の構成単位であることを特徴とするX線顕微鏡。

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