液体用のフローセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-581063
公開番号（公開出願番号）：特表2003-532099
出願日： 2001年04月23日
公開日（公表日）： 2003年10月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、1つの熱源が及びこの熱源に対し対称的に2つの温度センサが設けられている半導体モジュール(1)に関する。【解決手段】半導体モジュール(1)はパイプ(2)の外面に設けられており、測定される流速を有する液体はパイプ(2)の中を導かれる。温度センサ及び熱源はパイプ(2)の外面と熱的接触している。このタイプの装置によって、高い精度及び感度の流れ測定を実行することができることが明らかである。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの温度センサ(6a、6b)及び熱源(5)が組み込まれてなる半導体モジュール(1)を有する、液体用のフローセンサにおいて、液体を導くパイプ(2)を具備し、前記半導体モジュール(1)は前記パイプ(2)の外面に設けられており、前記温度センサ(6a、6b)及び前記熱源(5)は前記パイプ(2)の外面と熱的接触していることを特徴とするフローセンサ。

FI (2件)：

G01F 1/68 101 A , G01F 1/68 101 B

Fターム (3件)：

2F035AA06 , 2F035EA01 , 2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭59-231417
流量検出装置および流量検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-147018 出願人：日本エム・ケー・エス株式会社
特開平4-343023

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