特許
J-GLOBAL ID:200903091188200053

ポリイミドフイルム-金属薄膜の複合フイルムの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-133858
公開番号(公開出願番号):特開平7-316776
出願日: 1994年05月25日
公開日(公表日): 1995年12月05日
要約:
【要約】【構成】 ポリイミドフィルムの表面に重合性モノマーのプラズマ重合膜を生成する工程、およびプラズマ重合膜上に金属薄膜を形成する工程からなる、ポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法。【効果】 ポリイミドフィルムと金属薄膜を接着剤で接合した複合フィルムは、高温下で接着剤の接着力が低下してポリイミドフィルムと金属薄膜が剥離するが、この方法で得られたポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムは、高温で使用してもポリイミドフィルムと金属薄膜が剥離することがない。
請求項(抜粋):
ポリイミドフィルムの表面にシアノ基を有する重合性モノマーのプラズマ重合膜を生成する工程、および上記重合処理したポリイミドフィルム表面にスパッタリングあるいは蒸着によって金属薄膜を固定し形成する工程からなる、ポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法。
IPC (6件):
C23C 14/02 ,  B32B 15/08 ,  C08J 7/00 306 ,  C08J 7/06 CFG ,  C23C 14/20 ,  C08L 79:08
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭62-043831
  • 特開昭63-258938

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