特許
J-GLOBAL ID：200903091191347731
流速分布制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-212919
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078340
出願日： 1994年09月06日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】量子井戸の膜厚、組成の精密制御を可能にするとともに、大流量の制御と同時に微小流量の精密制御が行えるようにする。【構成】複数の微小流路102を有する基板101と、基板101の各微小開口部に設けられて複数の微小流路102を開閉する弁手段と、この弁手段の開閉を各弁手段ごとに駆動制御する水平・垂直選択回路103、104とを具備する。
請求項（抜粋）：
複数の微小開口を有する基板と、この基板の各微小開口部に設けられて前記複数の微小開口を開閉する弁手段と、この弁手段の開閉を各弁手段ごとに駆動制御する駆動制御手段と、を具備したことを特徴とする流速分布制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, G05D 7/06
, H01L 21/3065
