エネルギー分散型X線分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125508
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318946
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】適切な分析結果が短時間で得られるエネルギー分散型X線分析装置を提供する。【解決手段】この発明のX線分析装置は、検量線式定量分析法が指定されると、ピーク間隔求出部17により試料中の含有量測定対象の元素と試料中の他の含有元素の間での最短ピーク間隔が求出されるとともに、時定数選択部18により含有量測定対象の元素の注目ピークが分離できる最低限度の分解能に見合った時定数が選択された後、整形回路10の時定数が時定数設定部11により時定数選択部18で選ばれた時定数に設定される。必要以上に長い時定数に設定されないので、X線検出信号の取り込み率は十分なものとなり、正確な含有量を短時間で測定することができる。

請求項（抜粋）：

励起された試料から放出されるX線を検出する半導体X線検出器と、半導体X線検出器から出力される信号をパルス波に整形する波形整形回路と、この波形整形回路を経て入力されるX線検出信号のエネルギースペクトル(パルス波高頻度分布図)を得るマルチチャンネルアナライザを備えているとともに、マルチチャンネルアナライザで得られたエネルギースペクトルに基づくデータ処理により試料の元素分析をおこなうデータ処理手段を備えているエネルギー分散型X線分析装置において、元素分析の分析手法を指定する分析手法指定手段を備えているとともに、分析手法指定手段により指定された分析手法に応じて波形整形回路の時定数を設定する時定数設定手段を備えていることを特徴とするエネルギー分散型X線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/223 , G01T 1/24

FI (2件)：

G01N 23/223 , G01T 1/24

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-332895
蛍光X線膜厚計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-021234 出願人：セイコー電子工業株式会社
特開平3-073834

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