光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：増田達哉 , 朝比一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-309555
公開番号（公開出願番号）：特開2009-134028
出願日： 2007年11月29日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：

【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。【解決手段】本発明の光学デバイス1は、第2の凹部32を有し、その底面に第1の反射膜25に光学ギャップG1を隔てて対向する第2の反射膜34が設けられた第2の基体3は、平面視にて第2の凹部32に対応する部分に設けられた第1の部材3aと、平面視にて第2の凹部32の外側の部分に設けられた第2の部材3b1、3b2とが接合膜41を介して接合され、接合膜41は、シロキサン(Si-O)結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、Si骨格に結合する脱離基とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1の光反射部を備える可動板がその厚さ方向に変位可能に設けられた第1の基体と、凹部を有し、該凹部の底面に、前記第1の光反射部に光学ギャップを隔てて対向する第2の光反射部が設けられた第2の基体と、前記可動板をその厚さ方向に変位させる駆動手段とを有し、前記第1の光反射部と前記第2の光反射部との間で光反射を繰り返し干渉を生じさせて、前記光学ギャップに応じた波長の光を外部へ出射し得るように構成され、前記第2の基体は、平面視にて前記凹部に対応する部分に設けられた第1の部材と、平面視にて前記凹部の外側の部分に設けられた第2の部材とが接合膜を介して接合されており、前記接合膜は、シロキサン(Si-O)結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、該Si骨格に結合する脱離基とを含み、前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Si骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記第1の部材と前記第2の部材とを接合していることを特徴とする光学デバイス。

IPC (4件)：

G02B 26/00 , G01J 9/02 , G02B 5/28 , G02B 5/26

FI (4件)：

G02B26/00 , G01J9/02 , G02B5/28 , G02B5/26

Fターム (32件)：

2H048FA01 , 2H048FA05 , 2H048FA09 , 2H048FA24 , 2H048GA01 , 2H048GA04 , 2H048GA13 , 2H048GA23 , 2H048GA26 , 2H048GA51 , 2H048GA61 , 2H141MA22 , 2H141MA23 , 2H141MB23 , 2H141MB28 , 2H141MC06 , 2H141MD02 , 2H141MD04 , 2H141MD38 , 2H141ME01 , 2H141ME06 , 2H141ME24 , 2H141ME25 , 2H141MF02 , 2H141MF21 , 2H141MF24 , 2H141MG10 , 2H141MZ03 , 2H141MZ18 , 2H141MZ19 , 2H141MZ22 , 2H141MZ26

引用特許：

出願人引用 (1件)

波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-010522 出願人：セイコーエプソン株式会社, サンテック株式会社

前のページに戻る