特許
J-GLOBAL ID：200903091200994567
バキュームチャックの研削屑除去用の洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-309489
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148449
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】本発明はバキュームチャックの上面に狂いを生じさせない洗浄装置を提供することを目的とするものである。【構成】本発明の構成は、平面自動研削盤等のバキュームチャックの上方に配設した担持部に備えたモーターと、モーターの駆動軸と一対のギアを介して連動し昇降及び回転自在に垂設させた回転軸と、回転軸の下端へカップ状の洗浄部材を取着し、洗浄部材を降下させてバキュームチャックの上面へ当接させ且つ公転と自転とをさせながら洗浄させる半導体ウエハの研削加工後の洗浄装置において、少なくとも洗浄部材の下面と少なくともバキュームチャックの上面とを夫々同一材料で形成した構成であり、更に、少なくとも洗浄部材の下面と少なくともバキュームチャックの上面とを夫々純アルミナで形成した構成である。
請求項（抜粋）：
平面自動研削盤等のバキュームチャックの上方に配設した担持部に備えたモーターと、該モーターの駆動軸と一対のギアを介して連動し昇降及び回転自在に垂設させた回転軸と、該回転軸の下端へカップ状の洗浄部材を取着し、該洗浄部材を降下させてバキュームチャックの上面へ当接させ且つ公転と自転とをさせながら洗浄させる半導体ウエハを研削加工後に洗浄する洗浄装置において、少なくとも洗浄部材の下面と少なくともバキュームチャックの上面とを夫々同一材料で形成したことを特徴とするバキュームチャックの研削屑除去用の洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321
, B24B 55/12
