光偏光特性測定装置およびその測定方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-189335
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005744
出願日： 2000年06月23日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】極微弱な光が検出できるホモダイン検波法を用いて、ホモダイン干渉計を負帰還制御で安定化すると共に、位相検出に必要な位相同期検出の参照信号を負帰還制御の自励発振で発生させて、高感度かつ高安定な光の偏光特性を測定することができる光偏光特性測定装置およびその測定方法を提供する。【解決手段】光源1の出力光を第1の光分岐器3で直交偏光に分岐し、一方の出力光を被測定試料6に照射して発生する偏光回転成分と偏光非回転成分とを、第1の光分岐器3の他方の出力光を局発光として光合波器9で合波し、第2および第3の光分岐器10,11で直交偏光成分に分岐してそれぞれをホモダイン検波する。この時、ホモダイン干渉計の光路差を振動するミラー8で変調して発生する交流信号の偏光非回転成分を同期検出の参照信号として、偏光回転成分の振幅と位相を位相検出器18によって、被測定試料6における偏光の回転角と方向を測定する。

請求項（抜粋）：

(a)光源の出力光の偏光状態を調整する手段と、(b)前記出力光を直交する偏光に分岐する第1の光分岐器と、(c)該第1の光分岐器の出力のどちらか一方の光路に配置される被測定試料と、(d)前記第1の光分岐器の出力の他方の光路に配置される偏光状態を調整する手段と、(e)前記第1の光分岐器の出力のどちらか一方の光路差を変調する手段と、(f)前記第1の光分岐器の二つの出力光を合波する光合波器と、(g)該光合波器の出力光を直交する偏光に分岐する第2および第3の光分岐器と、(h)該第2および第3の光分岐器の二つの出力光を検波する光検波器と、(i)該二つの出力光を検波する光検波器の出力交流信号の振幅と位相差を検出する手段とを具備することを特徴とする光偏光特性測定装置。

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