特許
J-GLOBAL ID：200903091217430861
ウェハ洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三枝 英二 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-516502
公開番号（公開出願番号）：特表2000-508237
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】ウェハの洗浄流体を揺り動かすメガソニックエネルギーを用いて半導体ウェハを洗浄するウェハ洗浄装置である。ソニックエネルギー源は、流体にソニックエネルギーを伝えるように延設されたクォーツプローブを振動させる。前記プローブの一形態は、タンク内にある中実円柱状の清浄部と、タンク外で直径を徐々に増加させる漏斗状の後部を有している。プローブのより大径の後部及びトランスデューサに音響的に結合された熱伝導部材は、トランスデューサから熱を伝導して取り去る。熱伝導部材及びトランスデューサのハウジングは、これらの構成部材を支持するとともに、トランスデューサの温度を制御するためにこのハウジンクを通過する冷媒を案内する手段を提供する。一つの配置において、プローブが上側に接近した状態に配置されている間、流体はウェハの両側に噴射される。他の配置において、短いプローブがその端部表面をウェハの表面に接近させるように配置され、プローブがその回転によってウェハの上方を動かされる。また、プローブは、多数のディスクの中心孔を通過させて配置され、それら部材のグループを同時に清浄するようにしても良い。
請求項（抜粋）：
振動エネルギーを効率よく伝達する材質からなるプローブと、 前記プローブと異なる材質からなり、前記プローブの一端に取り付けられた熱伝導部材と、 前記部材を介して伝達されるエネルギーによって前記プローブを振動させるように前記部材に結合された振動子とを備えた洗浄装置。
IPC (2件)：
B08B 3/12
, H01L 21/304 643
B08B 3/12 A
, H01L 21/304 643 D
