特許
J-GLOBAL ID:200903091222059772

レーザを用いた組成成分計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 光石 俊郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-311381
公開番号(公開出願番号):特開2003-121359
出願日: 2001年10月09日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】【課題】 各組成成分から発生するプラズマ光の発生タイミングが異なっていても、正確に組成成分計測をする。【解決手段】 測定対象物にレーザを照射してプラズマ化すると、各組成成分からプラズマ光が時間的にずれて発生する。プラズマ光はレンズ15にて集光されて光ファイバ122,123にて伝送され、分光器116にて分光され、分光されたスペクトル光がCCDカメラ117にて撮影され、撮影した映像(スペクトル状態)を基に、組成成分の同定や濃度検出をする。CCDカメラ117は、先に発生して長い光ファイバ123を伝送されてきたプラズマ光を分光したスペクトル光と、後に発生して短い光ファイバ122を伝送されてきたプラズマ光を分光したスペクトル光が、分光器116から同時に出力されるタイミングで撮影を開始する。このため、時間的にずれてプラズマ光を発生する各組成成分に対応するスペクトル光を同時に撮影することができ、正確に組成成分の計測ができる。
請求項(抜粋):
測定対象物にレーザ光を照射してその組成成分をプラズマ化するレーザ装置と、プラズマ化した各組成成分から時間的にずれて発生するプラズマ光を集光する光学系と、集光されたプラズマ光を伝送する複数本の光ファイバと、複数本の光ファイバで伝送されてきた各プラズマ光をそれぞれ独立に分光してスペクトル光とすると共に、分光された各スペクトル光を空間的に異なる位置に振り分けて出力する分光器と、分光器から出力された複数のスペクトル光を撮影し、撮影して得た映像信号を出力する固体撮像素子カメラと、前記映像信号を基に前記測定対象物の組成成分の同定と組成成分の濃度検出をするコンピュータとを有し、前記複数本の光ファイバは、最も短い光ファイバに対しそれよりも長い他の光ファイバの長さが、最も最初にプラズマ光を発生する組成成分からプラズマ光が発生したタイミングからその後にプラズマ光を発生する組成成分からプラズマ光が発生したタイミングまでの時間に、前記光ファイバ中の光の伝送速度を掛けた距離だけ長くなっていることを特徴とするレーザを用いた組成成分計測装置。
Fターム (16件):
2G043AA01 ,  2G043BA02 ,  2G043BA03 ,  2G043BA07 ,  2G043CA06 ,  2G043EA10 ,  2G043GA02 ,  2G043GA03 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043JA01 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03
引用特許:
出願人引用 (6件)
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