耐久性のあるエタロンベ-ス出力カプラ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-376225
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200933
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】耐久性のあるエタロンベース出力カプラを提供する。【解決手段】出力カプラの主な要素は、2つのプリズムのうちの一方の第1の面が他のプリズムの第1の面と平行であり、それらが互いにファブリ・ペローエタロンを生成するように配置された2つのプリズム164A,164Bである。これらの表面からの光の反射は、レーザへの部分的なビームフィードバックを生成するように使用される。出力カプラの各プリズムの第2の面は、ビームがブリュースター角又はおおよそブリュースター角で入り且つ出るような仕方で配置される。193nm出力ビームを備えるArFレーザ用に設計された好ましい実施形態では、プリズムはCaF2からなり、それらは約1気圧で窒素に浸される。この実施形態に関して、ブリュースター角は、約57度であり、各プリズムの頂角は約34度である。

請求項（抜粋）：

所望の波長範囲内でレーザビームを作り出すように設計された紫外レーザ用の耐久性のあるエタロン出力カプラであって、前記出力カプラがエタロンを含み、該エタロンが、1)第1の内側表面及びビーム入り口表面を構成し、前記所望の波長範囲内で紫外光に対して透明な材料からなり、前記ビーム入り口表面に隣接する材料の屈折率na1よりも大きい屈折率nm1を構成する第1のプリズムを有し、前記ビーム入り口表面が、前記第1の内側表面と第1の頂角αを構成する角度を形成し、該第1の頂角が以下の関係を満たし:2)第2の内側表面及びビーム出口表面を構成し、前記所望の範囲内で紫外光に対して透明な材料からなり、前記ビーム出口表面に隣接して媒体の屈折率na2より大きい屈折率nm2を構成する第2のプリズムとを有し、前記ビーム出口表面が、前記第2の内側表面と第2の頂角αa2を構成する角度を形成し、該第2の頂角αa2が以下の関係を満たし:前記第1及び第2のプリズムが、前記第1の内側表面と、前記第2の内側表面とが向き合い、且つ平行になるように配置され、両方のプリズムは、前記レーザビームが、ブリュースター角で又はおおよそブリュースター角で前記入り口表面を介して前記エタロンに入り、ブリュースター角で又はおおよそブリュースター角で前記出口表面を介して前記エタロンから出るように、前記レーザビームに関して配置される、耐久性のあるエタロン出力カプラ。

IPC (3件)：

H01S 3/137 , H01S 3/08 , H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/137 , H01S 3/08 , H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (21件)

特開平3-082183
特開平1-179477
狭帯域化エキシマレーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253265 出願人：日本電気株式会社

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