特許

J-GLOBAL ID：200903091241863744

ガラス基板の加熱装置

発明者： 永井 亮
出願人/特許権者： オプトレックス株式会社 ,  日本精機株式会社
代理人 (1件)： 大原 拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331716
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141263
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送は低コストのシャトル方式でありながら、例えばアライメントマークを形成する基板端部を含めてガラス基板の必要部分を加熱することができるようにする。【解決手段】 矩形状のガラス基板1を載せて所定温度に加熱するホットプレート10と、ガラス基板1の両側下面を支持してホットプレート10に対してガラス基板1を搬入・搬出する基板搬送手段20とを備え、ホットプレート10が有する対向する2対の2辺の内の一方の対をなす2辺12a,12bの一部分のみに、ガラス基板1の両側下面の一部分をホットプレート10の底面側に向けて露出可能とする凹部13,13を形成するとともに、基板搬送手段20にその凹部13,13内に入り込み可能な支持片201,201を設ける。

請求項（抜粋）：

矩形状のガラス基板を載せて所定温度に加熱するホットプレートと、上記ガラス基板の両側下面を支持して上記ホットプレートに対して上記ガラス基板を搬入・搬出する基板搬送手段とを備えているガラス基板の加熱装置において、上記ホットプレートは対向する2対の2辺を有し、その内の一方の対をなす2辺の一部分のみに、上記ガラス基板の両側下面の一部分を上記ホットプレートの底面側に向けて露出可能とする凹部が形成されており、上記基板搬送手段は、上記凹部内に入り込み可能な支持片を備えていることを特徴とするガラス基板の加熱装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/00 330

FI (5件)：

G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/00 330 Z ,  H01L 21/30 567

Fターム (20件)：

2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  3K058AA86 ,  3K058BA18 ,  3K058CE19 ,  3K058GA06 ,  5F031CA05 ,  5F031HA24 ,  5F031HA28 ,  5F031HA37 ,  5F046KA04 ,  5F046KA07 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10