特許
J-GLOBAL ID：200903091250853050
光ファイバプローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-167727
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021616
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【構成】従来の光ファイバプローブ顕微鏡及び記録装置において、試料からの反射光又は透過光を二分し、それぞれ角度の異なる偏光板を通過した光強度を検出し、得られた二信号を差分処理する。【効果】試料内や表面に存在する不純物等に起因する試料に固有な雑音と試料の磁気的情報との分離が可能な光ファイバプローブ顕微鏡及び記録装置が実現される。更に、光ファイバプローブ記録装置に応用した際には、高速プローブ型記録装置が実現する。
請求項（抜粋）：
尖鋭化した先端を有する光ファイバをプローブとし、そのファイバ内に偏光したレーザ光を入射し、先端を試料に接近・走査させることにより、試料の光学的情報・表面情報及び磁気的情報を観察する光ファイバプローブ顕微鏡、または前記ファイバプローブを試料に接近・走査させ、かつ情報の“0”,“1”に対応させてレーザ光をオン・オフさせることにより試料上に情報を記録する機能と、前記ファイバプローブを試料に接近・走査させることにより、試料上の記録情報を検出する機能を有する光ファイバプローブ記録装置において、試料からの反射光又は透過光を複数に分割し、分離したレーザ光路上に挿入されたそれぞれ角度の異なる偏光板を透過した光強度を別々に検出し、得られた複数の信号を信号処理回路において合成することによって、試料の磁気的情報検出の高感度化を可能としたことを特徴とする光ファイバプローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G11B 11/10 591
, G01N 21/21
