特許

J-GLOBAL ID：200903091251735906

樹脂封止装置

発明者： 北川原 敏明
出願人/特許権者： アピックヤマダ株式会社
代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167023
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010654
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】 樹脂封止動作からクリーニング動作に至るまで下型表面をマスクすることによってクリーニング効果を高めた樹脂封止装置を提供する。【解決手段】 基板10を挟持して上型1に形成されたキャビティ6に樹脂を圧送することにより片面のみ樹脂封止する開閉可能な上下金型1,2と、樹脂封止後に型開きした前記上下金型1,2の挟持面をクリーニングする進退移動可能なクリーナー11と、樹脂封止動作からクリーニング動作に至るまで前記下型2の基板10を挟持する挟持面をマスクする交換可能なマスク材12とを備えた。

請求項（抜粋）：

被成形品を挟持して上型に形成されたキャビティに樹脂を圧送することにより片面のみ樹脂封止する開閉可能な上下金型と、樹脂封止後に型開きした前記上下金型の挟持面をクリーニングする進退移動可能なクリーニング手段と、樹脂封止動作からクリーニング動作に至るまで前記下型の被成形品を挟持する挟持面をマスクする交換可能なマスキング手段と、を備えたことを特徴とする樹脂封止装置。

IPC (6件)：

B29C 33/72 ,  B29C 45/02 ,  B29C 45/26 ,  B29C 45/76 ,  H01L 21/56 ,  B29L 31:34

FI (5件)：

B29C 33/72 ,  B29C 45/02 ,  B29C 45/26 ,  B29C 45/76 ,  H01L 21/56 T