特許

J-GLOBAL ID：200903091255359810

感光性樹脂組成物

発明者： 竹内 江津 ,  八月朔日 猛
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-277055
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105457
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】 写真法によるパターン精度の良いレジスト形成が、アルカリ水溶液を用いた現像で可能であり、また、低温での加工で十分な耐熱性及び柔軟性を発現する、永久レジスト用樹脂組成物を提供する。【解決手段】(イ)分子内に構造式(1)で表されるオリゴシロキサン構造を有し、エポキシ当量が80〜500である多官能エポキシ樹脂、(ロ)少なくとも1個のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラック、(ハ)光多官能モノマー、もしくは光及び熱官能基を有する多官能モノマーからなる希釈剤、またはそれらのモノマーを併用した希釈剤、および、(ニ)光重合開始剤を必須成分として配合する。【化1】

請求項（抜粋）：

(イ)分子内に構造式(1)で表されるオリゴシロキサン構造を有し、エポキシ当量が80〜500である多官能エポキシ樹脂、(ロ)少なくとも1個のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラック、(ハ)光多官能モノマー、もしくは光及び熱官能基を有する多官能モノマーからなる希釈剤、またはそれらのモノマーを併用した希釈剤、および、(ニ)光重合開始剤を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】式中、R1、R2は、炭素数4以下の脂肪族炭化水素基、または炭素数8以下の1価の芳香族炭化水素基で、nは3以上9以下の整数である。

IPC (6件)：

G03F 7/038 503 ,  C08G 77/42 ,  C08L 63/00 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/075 511 ,  H05K 3/28

FI (6件)：

G03F 7/038 503 ,  C08G 77/42 ,  C08L 63/00 C ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/075 511 ,  H05K 3/28 D

Fターム (40件)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BC73 ,  2H025CA01 ,  2H025CB30 ,  2H025CB32 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  4J002CD06X ,  4J002CH05Y ,  4J002CP05W ,  4J002EE037 ,  4J002EE057 ,  4J002EH076 ,  4J002EL026 ,  4J002EV317 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ05 ,  4J035BA02 ,  4J035CA11N ,  4J035CA111 ,  4J035EA01 ,  4J035LA03 ,  4J035LB16 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314AA41 ,  5E314FF01 ,  5E314GG08