特許
J-GLOBAL ID：200903091255547195
スケーリング補正機能を持つレーザ描画装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-163697
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323180
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】 被描画体をレーザビームで走査させてそこに描画行なうレーザ描画装置において、個々の被描画体の寸法変動に対して適正でかつ精度の高いスケーリング補正処理を行い得るようにする。【解決手段】 被描画体をレーザビームでもって走査させつつ該被描画体に対するレーザビームの明滅をラスタデータに基づいて所定の周波数のクロックパルスに従って制御して描画を行う。被描画体の寸法値を基準寸法値と比較してその寸法差及びその大小関係を判別する。クロックパルスの位相を寸法差に応じた所定の間隔でしかも大小関係に応じて正側及び負側のいずれか一方に順次シフトさせてその全シフト量を寸法差に実質的に一致せさるようにクロックパルスの出力を制御する。
請求項（抜粋）：
被描画体をレーザビームでもって走査させつつ該被描画体に対するレーザビームの変調をラスタデータに基づいて所定の周波数のクロックパルスに従って制御して描画を行うレーザ描画装置であって、前記被描画体の寸法値を基準寸法値と比較してその寸法差及びその大小関係を判別する寸法判別手段と、前記クロックパルスの位相を前記寸法差に応じた所定の間隔でしかも前記大小関係に応じて正側及び負側のいずれか一方に順次シフトさせてその全シフト量を前記寸法差に実質的に一致させるように前記クロックパルスの出力を制御するクロックパルス出力制御手段とを具備して成るレーザ描画装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K 26/00 M
, B43L 13/00 A
