特許

J-GLOBAL ID：200903091260279433

液晶表示パネルの洗浄方法及び洗浄装置

発明者： 森元 陽
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 村山 光威
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150943
公開番号（公開出願番号）：特開2002-346485
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】【課題】 水や純水などの薬剤を含まない洗浄液を使用しても基板表面における洗浄むらが発生することのない洗浄方法及び装置を提供する。【解決手段】 液晶表示パネル用基板を搬送しながら薬剤を含まない洗浄液により洗浄する液晶表示パネルの洗浄方法であって、洗浄液が基板40の搬送方向とは反対の方向に流れて基板の表面を覆うようにこれを基板表面に供給するステップ(20)と、基板表面40の洗浄液の流れに対して鋭角をなす方向からこれにカーテン状のエアーを吹き付けるステップ(10)を含み、基板40上を流れてきた洗浄液は前記エアーによって押しとどめられ、基板40の表面を還流しながら排出されるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

液晶表示パネル用基板を搬送しながら薬剤を含まない洗浄液により洗浄する液晶表示パネルの洗浄方法であって、洗浄液が前記基板の搬送方向とは反対の方向に流れて基板の表面を覆うように、洗浄液を基板表面に供給するステップと、前記基板表面の洗浄液の流れに対して鋭角をなす方向からカーテン状のエアーを吹き付けるステップを含み、基板上を流れてきた洗浄液を、前記エアーによって押しとどめ、前記基板の表面を還流しながら排出することを特徴とする液晶表示パネルの洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 3/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (3件)：

B08B 3/02 C ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

Fターム (15件)：

2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA18 ,  2H090HB08Y ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  2H090MB01 ,  2H090MB03 ,  3B201AA02 ,  3B201AB14 ,  3B201BB22 ,  3B201BB93 ,  3B201CC12