特許

J-GLOBAL ID：200903091272895130

非球面形状測定装置および測定方法

発明者： 中山 繁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-175125
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006784
出願日： 1997年06月17日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】 非球面形状を高精度に測定することができる非球面形状測定装置および測定方法を提供すること。【解決手段】 光源1からの光を分割し、一方の光を参照面5aで反射させて参照光とし、他方の光を波面形成手段6を介して被検非球面7で反射させて測定光とし、該測定光を前記参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞に基づいて前記被検面7の面形状を測定する。ここで、前記波面形成手段6は少なくとも回折光学素子6aを含み、前記回折光学素子の所定の次数の回折光は前記被検面7の面形状に対応した非球面波であり、前記回折光学素子の0次光は球面波である。

請求項（抜粋）：

光源からの光を分割し、一方の光を参照面で反射させて参照光とし、他方の光を波面形成手段を介して被検非球面で反射させて測定光とし、該測定光を前記参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞に基づいて前記被検面の面形状を測定する非球面形状測定装置において、前記波面形成手段は少なくとも回折光学素子を含み、前記回折光学素子の所定の次数の回折光は前記被検面の面形状に対応した非球面波であり、前記回折光学素子の0次光は球面波であることを特徴とする非球面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01M 11/02

FI (4件)：

G01M 11/00 L ,  G01M 11/00 M ,  G01B 11/24 D ,  G01M 11/02 B