特許

J-GLOBAL ID：200903091274189801

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 山岡 亜夫 ,  番場 敏夫 ,  竹内 江津 ,  竹田 敏郎
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165321
公開番号（公開出願番号）：特開平5-011452
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【構成】 一般式(1),(2),(3)で示される基を有するモノマー(A),(B),(C)【化1】について、(B)と(C)の割合を(B)2〜100モル%、(C)0〜98モル%とし、かつ(A),(B),(C)を (A)/{(B)+(C)}= 0.9〜1.1 の割合で重合した重合度 2〜500のポリベンゾオキサゾール前駆体(D)に、式(4)で示されるポリアミック酸(E)、【化2】式(5),(6),(7),(8)又は(9)で示されるジヒドロピリジン化合物(F)、【化3】を(D)100重量部に対して(E)10〜200重量部、1種又は2種以上の(F)10〜100重量部を配してなるポジ型感光性樹脂組成物。【効果】 シリコン酸化膜のような塗布基板に対して高い密着性を有し、かつ良好な硬化膜機械特性を示すポジ型感光性樹脂組成物が得られる。

請求項（抜粋）：

一般式(1),(2),(3)で示される基を有するモノマー(A),(B),(C)【化1】について、(B)と(C)の割合を(B)2〜100モル%、(C)0〜98モル%とし、かつ(A),(B),(C)を (A)/{(B)+(C)}= 0.9〜1.1 の割合で重合した重合度 2〜500のポリベンゾオキサゾール前駆体(D)に、式(4)で示されるポリアミック酸(E)、【化2】式(5),(6),(7),(8)又は(9)で示されるジヒドロピリジン化合物(F)、【化3】を(D)100重量部に対して(E)10〜200重量部、1種又は2種以上の(F)10〜100重量部を配してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 522 ,  G03F 7/004 531 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/027